Actionneur MEMS à longue plage de course

Résumé :

La présente invention concerne de manière générale des dispositifs à microsystèmes électromécaniques (MEMS), et plus particulièrement des actionneurs MEMS. Le système microélectromécanique (MEMS) désigne un dispositif dans lequel des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et des composants électroniques (dispositifs électroniques) sont intégrés sur un substrat de silicium commun par la technologie de microfabrication. Par exemple, la microélectronique est généralement fabriquée à l'aide d'un procédé de circuit intégré (CI), tandis que les composants micromécaniques utilisent un processus de micro-usinage similaire à celui-ci pour sélectionner de manière sélective des parties d'une tranche de silicium. Il est produit en formant des pièces mécaniques et des pièces électromécaniques en les gravant ou en ajoutant de nouvelles couches structurelles. Les dispositifs MEMS sont peu coûteux, peuvent être produits par lots et sont compatibles avec la microélectronique standard. Ils peuvent donc être utilisés pour la mesure spectroscopique, la mesure de forme, la détection environnementale, la mesure de l'indice de réfraction (ou la reconnaissance de matériaux) et d'autres applications de capteurs. Un candidat attrayant adapté à. En outre, étant donné que le dispositif MEMS est de petite taille, le dispositif MEMS peut être intégré dans un dispositif mobile ou un dispositif portatif.