Atuador MEMS com longo alcance de viagem

Resumo:

A presente invenção se refere geralmente a dispositivos de sistemas microeletromecânicos (MEMS) e, mais particularmente, a atuadores MEMS. O sistema microeletromecânico (MEMS) significa um dispositivo no qual elementos mecânicos, sensores, atuadores e eletrônicos (dispositivos eletrônicos) são integrados em um substrato de silício comum pela tecnologia de microfabricação. Por exemplo, a microeletrônica é normalmente fabricada usando um processo de circuito integrado (IC), enquanto os componentes micromecânicos usam um processo de microusinagem semelhante a esse processo para selecionar seletivamente porções de uma pastilha de silício. É produzido pela formação de peças mecânicas e eletromecânicas por corrosão ou adição de novas camadas estruturais. Os dispositivos MEMS são de baixo custo, podem ser produzidos em lote e são compatíveis com a microeletrônica padrão, portanto, podem ser usados para medição espectroscópica, medição de forma, detecção ambiental, medição de índice de refração (ou reconhecimento de material) e outras aplicações de sensores. Um candidato atraente adequado para. Além disso, como o dispositivo MEMS é pequeno, o dispositivo MEMS pode ser integrado a um dispositivo móvel ou portátil.