Actuador MEMS con amplio rango de recorrido

Resumen:

La presente invención se refiere en general a dispositivos de sistemas microelectromecánicos (MEMS) y, más particularmente, a actuadores MEMS. El sistema microelectromecánico (MEMS) significa un dispositivo en el que los elementos mecánicos, los sensores, los actuadores y la electrónica (dispositivos electrónicos) se integran en un sustrato de silicio común mediante la tecnología de microfabricación. Por ejemplo, la microelectrónica se fabrica normalmente mediante un proceso de circuito integrado (IC), mientras que los componentes micromecánicos utilizan un proceso de micromecanizado similar a ese proceso para seleccionar selectivamente partes de una oblea de silicio. Se produce mediante la formación de piezas mecánicas y piezas electromecánicas mediante el grabado o la adición de nuevas capas estructurales. Los dispositivos MEMS son de bajo costo, se pueden producir por lotes y son compatibles con la microelectrónica estándar, por lo que se pueden utilizar para la medición espectroscópica, la medición de formas, la detección ambiental, la medición del índice de refracción (o reconocimiento de materiales) y otras aplicaciones de sensores. Son un candidato atractivo y adecuado para. Además, dado que el dispositivo MEMS es de tamaño pequeño, el dispositivo MEMS se puede integrar en un dispositivo móvil o portátil.