แอคทูเอเตอร์ MEMS ที่มีระยะการเดินทางไกล

บทคัดย่อ:

การประดิษฐ์นี้โดยทั่วไปเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ระบบไฟฟ้ากลขนาดเล็ก (MEMS) และโดยเฉพาะอย่างยิ่งกับตัวกระตุ้น MEMSระบบไมโครอิเล็กโทรเมคานิก (MEMS) หมายถึงอุปกรณ์ที่องค์ประกอบเชิงกลเซ็นเซอร์แอคทูเอเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ (อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์) รวมเข้ากับวัสดุพิมพ์ซิลิคอนทั่วไปโดยเทคโนโลยีไมโครฟาบริเคชั่นตัวอย่างเช่น ไมโครอิเล็กทรอนิกส์มักถูกประดิษฐ์โดยใช้กระบวนการวงจรรวม (IC) ในขณะที่ส่วนประกอบไมโครกลใช้กระบวนการไมโครแมชชีนนิ่งที่คล้ายกับกระบวนการนั้นเพื่อเลือกบางส่วนของเวเฟอร์ซิลิกอนผลิตโดยการขึ้นรูปชิ้นส่วนกลและชิ้นส่วนเครื่องกลไฟฟ้าโดยการแกะสลักหรือเพิ่มชั้นโครงสร้างใหม่อุปกรณ์ MEMS มีราคาประหยัดสามารถผลิตเป็นชุดและเข้ากันได้กับไมโครอิเล็กทรอนิกส์มาตรฐานดังนั้นจึงสามารถใช้สำหรับการวัดสเปกโตรสโคปการวัดรูปร่างการตรวจจับสิ่งแวดล้อมการวัดดัชนีหักเหของแสง (หรือการจดจำวัสดุ) และการใช้งานเซ็นเซอร์อื่น ๆ ผู้สมัครที่น่าสนใจเหมาะสำหรับนอกจากนี้เนื่องจากอุปกรณ์ MEMS มีขนาดเล็กอุปกรณ์ MEMS จึงสามารถรวมเข้ากับอุปกรณ์มือถือหรืออุปกรณ์มือถือได้