具有长行程范围的 MEMS 执行器

摘要：

本发明一般涉及微型机电系统 (MEMS) 设备，更具体地说，涉及微机电系统执行器。微机电系统（MEMS）是指一种通过微加工技术将机械元件、传感器、执行器和电子设备（电子设备）集成在通用硅衬底上的设备。例如，微电子通常使用集成电路（IC）工艺制造，而微机械组件则使用与该过程类似的微加工工艺来选择硅晶片的某些部分。它是通过蚀刻或添加新的结构层来形成机械零件和机电零件来生产的。微机电系统器件成本低廉，可以批量生产，并且与标准微电子设备兼容，因此它们可用于光谱测量、形状测量、环境传感、折射率测量（或材料识别）和其他传感器应用这是一种有吸引力的候选产品。此外，由于MEMS设备体积小，因此可以将MEMS设备集成到移动设备或手持设备中。