ARCHITECTURE DE SPECTROMÈTRE MEMS FT-IR COMPENSÉ
Résumé :
La présente invention concerne un interféromètre à microsystème électromécanique (MEMS) tel que défini dans la revendication 1, qui utilise des interfaces d'équilibrage pour surmonter les problèmes de verticalité et de dispersion. L'interféromètre MEMS comprend un séparateur de faisceau formé sur une première surface d'un premier support au niveau d'une interface entre le premier milieu et un second milieu, un premier miroir formé sur une deuxième surface du premier support, un deuxième miroir formé sur une troisième surface du premier support et les interfaces d'équilibrage.
Des images
EP20100755038
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