ARQUITECTURA DE ESPECTRÓMETRO MEMS FT-IR COMPENSADO

Resumen:

La presente invención se refiere a un interferómetro de sistema microelectromecánico (MEMS) tal como se define en la reivindicación 1, que utiliza interfaces de equilibrio para superar los problemas de verticalidad y dispersión. El interferómetro MEMS incluye un divisor de haz formado en una primera superficie de un primer medio en una interfaz entre el primer medio y un segundo medio, un primer espejo formado en una segunda superficie del primer medio, un segundo espejo formado en una tercera superficie del primer medio y las interfaces de equilibrio.