ARQUITETURA DE ESPECTRÔMETRO MEMS FT-IR COMPENSADO

Resumo:

A presente invenção é direcionada a um interferômetro do Sistema Micro Eletro-Mecânico (MEMS), conforme definido na reivindicação 1, que usa interfaces de balanceamento para superar os problemas de verticalidade e dispersão. O interferômetro MEMS inclui um divisor de feixe formado na primeira superfície de um primeiro meio em uma interface entre o primeiro meio e um segundo meio, um primeiro espelho formado em uma segunda superfície do primeiro meio, um segundo espelho formado em uma terceira superfície do primeiro meio e as interfaces de balanceamento.