สถาปัตยกรรมสเปกโตรมิเตอร์ MEMS FT-IR แบบชดเช

บทคัดย่อ:

การประดิษฐ์นี้มุ่งเน้นไปที่อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ระบบไฟฟ้ากลไกขนาดเล็ก (MEMS) ตามที่กำหนดไว้ในข้อเรียกร้องที่ 1 ซึ่งใช้อินเทอร์เฟซการปรับสมดุลเพื่อเอาชนะปัญหาแนวตั้งและการกระจายตัวอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS ประกอบด้วยตัวแยกลำแสงที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวแรกของสื่อแรกที่อินเทอร์เฟซระหว่างสื่อแรกและสื่อที่สอง กระจกแรกที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวที่สองของสื่อแรก กระจกที่สองที่เกิดขึ้นบนพื้นผิวที่สามของสื่อแรกและอินเทอร์เฟซการปรับสมดุล