补偿微机电系统 FT-IR 光谱仪架构

摘要：

本发明针对权利要求1中定义的微型机电系统 (MEMS) 干涉仪，该干涉仪使用平衡接口来克服垂直度和色散问题。微机电系统干涉仪包括在第一介质第一表面和第二介质之间的界面处形成的分束器，在第一介质的第二表面形成的第一反射镜，在第一介质的第三表面形成的第二反射镜，在第一介质的第三表面上形成的第二反射镜和平衡接口。