Cobertura seletiva de etapas para estruturas microfabricadas

Resumo:

A presente invenção se refere geralmente à metalização ou revestimento de película fina de superfícies ópticas em dispositivos de bancada micro-ópticos e, em particular, máscaras de sombra que fornecem cobertura seletiva de superfícies ópticas em estruturas microfabricadas dentro de dispositivos de bancada microópticos. Em relação à fabricação. Geralmente, para produzir componentes micro-ópticos e componentes MEMS que podem processar um feixe de luz de espaço livre que se propaga paralelamente a um substrato de silício sobre isolador (SOI), em uma pastilha de silício sobre isolador (SOI). O processo de gravação por íons reativos profundos (DRIE) é usado para formar bancos micro-ópticos profundamente gravados. Tradicionalmente, máscaras de sombra de um nível têm sido usadas para fornecer cobertura escalonada de superfícies ópticas em bancos microópticos profundamente gravados e metalização seletiva ou revestimento de película fina.