Cobertura selectiva de escalones para estructuras microfabricadas

Resumen:

La presente invención se refiere en general a la metalización o al revestimiento con película delgada de superficies ópticas en dispositivos de banco microóptico y, en particular, a máscaras de sombras que proporcionan una cobertura escalonada selectiva de las superficies ópticas en estructuras microfabricadas dentro de dispositivos de banco microóptico. En cuanto a la fabricación. En general, para producir componentes microópticos y componentes MEMS que puedan procesar un haz de luz en el espacio libre que se propaga en paralelo a un sustrato de silicio sobre aislante (SOI), sobre una oblea de silicio sobre aislante (SOI). El proceso de grabado iónico reactivo profundo (DRIE) se utiliza para formar bancos microópticos profundamente grabados. Tradicionalmente, las máscaras de sombra de un solo nivel se han utilizado para cubrir de forma escalonada las superficies ópticas en bancos microópticos con grabado profundo y mediante metalización selectiva o recubrimiento con película fina.