Interféromètres MEMS optiques basés sur la division spatiale

Résumé :

Les modes de réalisation de la présente invention concernent un interféromètre à microsystèmes électromécaniques (MEMS) optiques comprenant un séparateur spatial, un combineur spatial, un miroir mobile et un actionneur MEMS. Le diviseur spatial reçoit un faisceau d'entrée et divise spatialement le faisceau d'entrée en premier et second faisceaux interférométriques. Le combineur spatial reçoit les premier et second faisceaux d'interféromètre et les combine spatialement pour produire une sortie. Chacun des faisceaux d'entrée, des premier et second faisceaux interférométriques et du faisceau de sortie se propage dans un milieu de propagation qui est différent du milieu séparateur spatial et du milieu combinateur spatial. Le miroir mobile reçoit l'un des premier et second faisceaux d'interféromètre et réfléchit le faisceau reçu vers le combineur spatial. L'actionneur MEMS est couplé au miroir mobile pour provoquer un déplacement de celui-ci afin de produire une différence de trajet optique entre le premier faisceau d'interféromètre et le second faisceau d'interféromètre. Le séparateur spatial peut comprendre, par exemple, un séparateur tronqué, un guide d'ondes à interférence multimode (MMI) creux, un séparateur à fentes ou un séparateur en Y. Le combineur spatial peut comprendre, par exemple, un élément de focalisation, un guide d'ondes MMI creux, un combineur à fentes, un combineur à double fente ou un combineur en Y.