基于空间分裂的光学微机电系统干涉仪

摘要：

本发明的实施例提供光学微机电系统（MEMS）干涉仪，包括空间分离器、空间组合器、可移动镜和微机电系统执行器。空间分离器接收输入光束并将输入光束在空间上分割成第一和第二干涉仪光束。空间组合器接收第一和第二干涉仪光束，并将它们进行空间组合以产生输出。每条输入光束、第一和第二干涉仪光束以及输出光束都在与空间分离器介质和空间组合介质不同的传播介质内传播。可移动的反射镜接收第一和第二干涉仪光束之一，并将接收到的光束反射到空间组合器。微机电系统执行器与可移动反射镜耦合，使其发生位移，从而在第一干涉仪光束和第二干涉仪光束之间产生光路差。 例如，空间分离器可能包括截断分离器、空心多模干扰 (MMI) 波导、开槽分离器或 Y 分离器。例如，空间组合器可以包括聚焦元件、空心 MMI 波导、开槽合成器、双缝合成器或 Y 组合器。