Interferômetros mems ópticos baseados em divisão espacial

Resumo:

As modalidades da presente invenção fornecem interferômetro óptico de sistemas microeletromecânicos (MEMS), incluindo um divisor espacial, combinador espacial, espelho móvel e atuador MEMS. O divisor espacial recebe um feixe de entrada e divide espacialmente o feixe de entrada em primeiro e segundo feixes de interferômetro. O combinador espacial recebe o primeiro e o segundo feixes do interferômetro e os combina espacialmente para produzir uma saída. Cada um dos feixes de entrada, o primeiro e o segundo feixe de interferômetro e o feixe de saída se propagam dentro de um meio de propagação que é diferente do meio divisor espacial e do meio combinador espacial. O espelho móvel recebe um dos primeiro e segundo feixes do interferômetro e reflete o feixe recebido em direção ao combinador espacial. O atuador MEMS é acoplado ao espelho móvel para causar um deslocamento do mesmo e produzir uma diferença de caminho óptico entre o primeiro feixe de interferômetro e o segundo feixe de interferômetro. O divisor espacial pode incluir, por exemplo, um divisor truncado, uma guia de onda oca de interferência multimodo (MMI), um divisor com fenda ou um divisor Y. O combinador espacial pode incluir, por exemplo, um elemento de foco, um guia de ondas MMI oco, um combinador com fenda, um combinador de fenda dupla ou um combinador Y.