Interferómetros memes ópticos basados en división espacial

Resumen:

Las modalidades de la presente invención proporcionan un interferómetro óptico de sistemas microelectromecánicos (MEMS) que incluye un divisor espacial, un combinador espacial, un espejo móvil y un actuador MEMS. El divisor espacial recibe un haz de entrada y divide espacialmente el haz de entrada en un primer y un segundo haz de interferómetro. El combinador espacial recibe el primer y el segundo haz del interferómetro y los combina espacialmente para producir una salida. Cada uno de los haces de entrada, los haces del interferómetro primero y segundo y el haz de salida se propagan dentro de un medio de propagación que es diferente del medio divisor espacial y del medio combinador espacial. El espejo móvil recibe uno de los haces del interferómetro primero y segundo y refleja el haz recibido hacia el combinador espacial. El actuador MEMS se acopla al espejo móvil para provocar su desplazamiento y producir una diferencia de trayectoria óptica entre el primer haz del interferómetro y el segundo haz del interferómetro. El divisor espacial puede incluir, por ejemplo, un divisor truncado, una guía de ondas hueca de interferencia multimodo (MMI), un divisor ranurado o un divisor en Y. El combinador espacial puede incluir, por ejemplo, un elemento de enfoque, una guía de ondas MMI hueca, un combinador ranurado, un combinador de doble rendija o un combinador en Y.