AUTO-ÉTALONNAGE POUR LE POSITIONNEMENT DES MIROIRS DANS LES INTERFÉROMÈTRES OPTIQUES MEMS

Résumé :

Les modes de réalisation de la présente invention concernent un appareil à microsystème électromécanique (MEMS) permettant d'effectuer un auto-étalonnage du positionnement du miroir. L'appareil MEMS comprend un miroir mobile et un actionneur MEMS à capacité variable qui est couplé au miroir mobile pour provoquer son déplacement. L'appareil MEMS comprend en outre une mémoire conservant une table mappant la capacité de l'actionneur MEMS à la position du miroir mobile, un circuit de détection capacitif couplé à l'actionneur MEMS pour détecter une capacité actuelle de l'actionneur MEMS, un processeur de signal numérique pour accéder au tableau pour déterminer une position actuelle du miroir mobile sur la base de la capacité actuelle de l'actionneur MEMS et un module d'étalonnage pour déterminer les capacités réelles respectives de l'actionneur MEMS. à au moins deux positions connues du miroir mobile pour déterminer une quantité de correction à appliquer à la position actuelle du miroir mobile. Le processeur de signal numérique produit en outre une position actuelle corrigée du miroir mobile en utilisant la quantité de correction. Un appareil MEMS et un système interférométrique MEMS de la présente invention sont tels que définis par les revendications annexées.