光学 MEMS 干涉仪镜像定位的自校准

摘要：

本发明的实施例提供了一种用于对镜像定位进行自校准的微机电系统 (MEMS) 装置。微机电系统设备包括可移动反射镜和具有可变电容的微机电系统执行器，该微机电系统执行器耦合到可移动反射镜以引起其位移。微机电系统设备还包括一个存储器，用于维护表格，将微机电系统执行器的电容映射到可移动反射镜的位置；耦合到微机电系统执行器的电容传感电路，用于感应微机电系统执行器的电流电容；一个用于访问表格以根据微机电系统执行器的电流电容确定可移动镜当前位置的数字信号处理器；以及一个用于确定微机电系统执行器在两个位置的实际电容的校准模块或者将可移动镜子的更多已知位置更改为确定应用于可移动镜子当前位置的校正量。数字信号处理器还使用校正量生成可移动镜子的校正当前位置。本发明的微机电系统设备和微机电系统干涉仪系统如所附权利要求所定义。