การสอบเทียบด้วยตนเองสำหรับการวางตำแหน่งกระจกในอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออปติคอล เมม

บทคัดย่อ:

รูปแบบของการประดิษฐ์นี้มีอุปกรณ์ Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) สำหรับการสอบเทียบตำแหน่งกระจกด้วยตนเองอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยกระจกแบบเคลื่อนย้ายได้และแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่มีความจุแบบแปรผันซึ่งเชื่อมต่อกับกระจกเคลื่อนที่ได้เพื่อทำให้เกิดการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์ MEMS ยังรวมถึงหน่วยความจำที่รักษาความจุในการทำแผนที่ตารางของแอคชูเอเตอร์ MEMS ไปยังตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่ได้ วงจรตรวจจับแบบคาปาซิทีฟที่เชื่อมต่อกับแอคชูเอเตอร์ MEMS สำหรับการตรวจจับความจุกระแสของแอคทูเอเตอร์ MEMS โปรเซสเซอร์สัญญาณดิจิตอลสำหรับการเข้าถึงตารางเพื่อกำหนดตำแหน่งปัจจุบันของกระจกเคลื่อนที่ได้ตามความจุปัจจุบันของโมดูลแอคทูเอเตอร์ MEMS และสำหรับการกำหนดความจุที่แท้จริงของตัวกระตุ้น MEMS ในตำแหน่งที่รู้จักกันอย่างน้อยสองตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่ได้ถึงกำหนดจำนวนการแก้ไขที่จะใช้กับตำแหน่งปัจจุบันของกระจกเคลื่อนที่ได้โปรเซสเซอร์สัญญาณดิจิตอลยังสร้างตำแหน่งกระแสที่ถูกแก้ไขของกระจกเคลื่อนที่ได้โดยใช้ปริมาณการแก้ไขอุปกรณ์ MEMS และระบบอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS ของการประดิษฐ์นี้เป็นไปตามที่กำหนดโดยการอ้างสิทธิ์ที่แนบมา