AUTOCALIBRAÇÃO PARA POSICIONAMENTO DE ESPELHO EM INTERFERÔMETROS ÓPTICOS DE MEMS

Resumo:

As modalidades da presente invenção fornecem um aparelho de Sistema Micro-Eletro-Mecânico (MEMS) para realizar a autocalibração do posicionamento do espelho. O aparelho MEMS inclui um espelho móvel e um atuador MEMS com uma capacitância variável que é acoplada ao espelho móvel para causar um deslocamento do mesmo. O aparelho MEMS inclui ainda uma memória que mantém uma tabela de mapeamento da capacitância do atuador MEMS para a posição do espelho móvel, um circuito de detecção capacitivo acoplado ao atuador MEMS para detectar uma capacitância atual do atuador MEMS, um processador de sinal digital para acessar a mesa para determinar a posição atual do espelho móvel com base na capacitância atual do atuador MEMS e um módulo de calibração para determinar a posição atual do espelho móvel respectivas capacitâncias reais do atuador MEMS em duas ou mais posições conhecidas do espelho móvel para determine uma quantidade de correção a ser aplicada à posição atual do espelho móvel. O processador de sinal digital produz ainda uma posição atual corrigida do espelho móvel usando a quantidade de correção. Um aparelho MEMS e um sistema de interferômetro MEMS da presente invenção são definidos pelas reivindicações anexas.