AUTOCALIBRACIÓN PARA EL POSICIONAMIENTO DEL ESPEJO EN INTERFERÓMETROS ÓPTICOS MEMS

Resumen:

Las modalidades de la presente invención proporcionan un aparato de sistema microelectromecánico (MEMS) para realizar la autocalibración del posicionamiento del espejo. El aparato MEMS incluye un espejo móvil y un actuador MEMS con una capacitancia variable que se acopla al espejo móvil para provocar su desplazamiento. El aparato MEMS incluye además una memoria que mantiene una tabla que mapea la capacitancia del actuador MEMS con la posición del espejo móvil, un circuito de detección capacitiva acoplado al actuador MEMS para detectar la capacitancia actual del actuador MEMS, un procesador de señales digitales para acceder a la mesa para determinar la posición actual del espejo móvil en función de la capacitancia actual del actuador MEMS y un módulo de calibración para determinar las respectivas capacitancias reales del actuador MEMS en dos o más posiciones conocidas del espejo móvil para determinar una cantidad de corrección que se aplicará a la posición actual del espejo móvil. El procesador de señales digitales produce además una posición actual corregida del espejo móvil utilizando la cantidad de corrección. Un aparato MEMS y un sistema de interferómetro MEMS de la presente invención son los definidos en las reivindicaciones adjuntas.