Auto-étalonnage pour le positionnement des miroirs dans les interféromètres MEMS optiques

Résumé :

Les modes de réalisation de la présente invention concernent un appareil à microsystème électromécanique (MEMS) permettant d'effectuer un auto-étalonnage du positionnement du miroir. L'appareil MEMS comprend au moins un miroir ayant une surface non plane et un actionneur MEMS ayant une capacité variable qui est couplé à un miroir mobile pour provoquer son déplacement. L'appareil MEMS comprend en outre une mémoire contenant une table mappant les capacités stockées de l'actionneur MEMS aux positions mémorisées respectives du miroir mobile et un circuit de détection capacitif couplé à l'actionneur MEMS pour détecter la capacité de l'actionneur MEMS à de multiples positions de référence du miroir mobile correspondant à une rafale centrale et à une ou plusieurs rafales secondaires d'un interférogramme produit par l'interféromètre sur la base de la surface non plane. Un module d'étalonnage utilise les capacités de l'actionneur aux positions de référence pour déterminer une quantité de correction à appliquer aux capacités stockées. L'invention est définie par les revendications annexées.