Autocalibración para el posicionamiento del espejo en interferómetros MEMS ópticos

Resumen:

Algunas modalidades de la presente descripción proporcionan un aparato de sistema microelectromecánico (MEMS) para realizar la autocalibración del posicionamiento del espejo. El aparato MEMS incluye al menos un espejo que tiene una superficie no plana y un actuador MEMS que tiene una capacitancia variable que se acopla a un espejo móvil para provocar su desplazamiento. El aparato MEMS incluye además una memoria que mantiene una tabla que mapea las capacitancias almacenadas del actuador MEMS con las respectivas posiciones almacenadas del espejo móvil y un circuito de detección capacitiva acoplado al actuador MEMS para detectar la capacitancia del actuador MEMS en múltiples posiciones de referencia del espejo móvil correspondientes a una ráfaga central y una o más ráfagas secundarias de un interferograma producido por el interferómetro en función de la superficie no plana. Un módulo de calibración usa las capacitancias del actuador en las posiciones de referencia para determinar una cantidad de corrección que se aplicará a las capacitancias almacenadas. La invención se define mediante las reivindicaciones adjuntas.