การสอบเทียบด้วยตนเองสำหรับการวางตำแหน่งกระจกในอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS แบบออปติคั

บทคัดย่อ:

รูปแบบของการเปิดเผยข้อมูลในปัจจุบันมีอุปกรณ์ Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) สำหรับการดำเนินการสอบเทียบตำแหน่งกระจกด้วยตนเองอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยกระจกอย่างน้อยหนึ่งกระจกที่มีพื้นผิวที่ไม่เป็นระนาบ และตัวกระตุ้น MEMS ที่มีความจุแบบแปรผันซึ่งเชื่อมต่อกับกระจกเคลื่อนที่ได้เพื่อทำให้เกิดการเคลื่อนย้ายอุปกรณ์ MEMS ยังรวมถึงหน่วยความจำที่เก็บไว้ในการทำแผนที่ตารางความจุของแอคทูเอเตอร์ MEMS ไปยังตำแหน่งที่เก็บไว้ของกระจกเคลื่อนที่ได้และวงจรตรวจจับความจุแบบคาปาซิทีฟที่เชื่อมต่อกับแอคทูเอเตอร์ MEMS เพื่อตรวจจับความจุของแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่ตำแหน่งอ้างอิงหลายตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่ซึ่งสอดคล้องกับจุดระเบิดตรงกลางและอินเตอร์เฟอโรแกรมทุติยภูมิอย่างน้อยหนึ่งอันที่ผลิตโดยไม่มีอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ พื้นผิวระนาบโมดูลสอบเทียบใช้ความจุของตัวกระตุ้นที่ตำแหน่งอ้างอิงเพื่อกำหนดปริมาณการแก้ไขที่จะใช้กับความจุที่เก็บไว้ สิ่งประดิษฐ์ถูกกำหนดโดยการอ้างสิทธิ์ที่แนบมา