Autocalibração para posicionamento de espelho em interferômetros MEMS ópticos

Resumo:

As modalidades da presente divulgação fornecem um aparelho de Sistema Micro-Eletro-Mecânico (MEMS) para realizar a autocalibração do posicionamento do espelho. O aparelho MEMS inclui pelo menos um espelho com uma superfície não plana e um atuador MEMS com uma capacitância variável que é acoplado a um espelho móvel para causar um deslocamento do mesmo. O aparelho MEMS inclui ainda uma memória que mantém uma tabela mapeando as capacitâncias armazenadas do atuador MEMS para as respectivas posições armazenadas do espelho móvel e um circuito de detecção capacitivo acoplado ao atuador MEMS para detectar a capacitância do atuador MEMS em várias posições de referência do espelho móvel correspondentes a uma explosão central e uma ou mais rajadas secundárias de um interferograma produzido pelo interferômetro com base no superfície não plana. Um módulo de calibração usa as capacitâncias do atuador nas posições de referência para determinar uma quantidade de correção a ser aplicada às capacitâncias armazenadas. A invenção é definida pelas reivindicações anexas.