光学 MEMS 干涉仪镜像定位的自校准

摘要：

本披露的实施例提供了一种用于对镜像定位进行自校准的微机电系统 (MEMS) 设备。微机电系统设备包括至少一面具有非平面表面的反射镜和一个具有可变电容的微机电系统执行器，该微机电系统执行器与可移动反射镜耦合以引起其位移。微机电系统设备还包括一个存储器，用于维护表格，将微机电系统执行器的存储电容映射到可移动反射镜的相应存储位置，以及一个耦合到微机电系统执行器的电容感应电路，用于感应可移动反射镜的多个参考位置的微机电系统执行器的电容，这些位置对应于中心脉冲以及干涉仪基于非平面表面产生的一次或多次干涉图的二次爆发。校准模块使用基准位置的执行器电容来确定应用于存储电容的校正量。 本发明由所附权利要求定义。