Auto-étalonnage pour le positionnement des miroirs dans les interféromètres MEMS optiques

Résumé :

Un appareil à microsystème électromécanique (MEMS) permet l'auto-étalonnage du positionnement du miroir mobile d'un interféromètre. Au moins un miroir de l'appareil MEMS comprend une surface non plane. Le miroir mobile est couplé à un actionneur MEMS à capacité variable. L'appareil MEMS comprend un circuit de détection capacitif destiné à déterminer la capacité de l'actionneur MEMS à de multiples positions de référence du miroir mobile correspondant à une rafale centrale et à une ou plusieurs rafales secondaires d'un interférogramme produit par l'interféromètre sur la base de la surface non plane. Un module d'étalonnage utilise les capacités de l'actionneur aux positions de référence pour compenser toute dérive dans le circuit de détection capacitif.