光学 MEMS 干涉仪镜像定位的自校准

摘要：

一种微机电系统 (MEMS) 设备可以对干涉仪可移动反射镜的镜像位置进行自校准。微机电系统设备中至少有一面镜子包括非平面表面。可移动反射镜与具有可变电容的微机电系统执行器耦合。微机电系统设备包括一个电容传感电路，用于确定微机电系统执行器在可移动反射镜的多个参考位置的电容，这些位置对应于中心脉冲以及干涉仪基于非平面表面产生的一次或多次干涉图的二次突发。校准模块使用基准位置的执行器电容来补偿电容感应电路中的任何漂移。