การสอบเทียบด้วยตนเองสำหรับการวางตำแหน่งกระจกในอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ MEMS แบบออปติคั

บทคัดย่อ:

อุปกรณ์ Micro-Electro-Mechanical System (MEMS) ให้การสอบเทียบตำแหน่งกระจกของกระจกแบบเคลื่อนย้ายได้ของอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ด้วยตนเองกระจกอย่างน้อยหนึ่งแก้วในอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยพื้นผิวที่ไม่ใช่ระนาบกระจกแบบเคลื่อนย้ายได้ถูกเชื่อมต่อกับแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่มีความจุแบบผันแปรอุปกรณ์ MEMS ประกอบด้วยวงจรตรวจจับแบบคาปาซิทีฟสำหรับกำหนดความจุของแอคทูเอเตอร์ MEMS ที่ตำแหน่งอ้างอิงหลายตำแหน่งของกระจกเคลื่อนที่ได้ซึ่งสอดคล้องกับการระเบิดตรงกลางและการระเบิดทุติยภูมิอย่างน้อยหนึ่งครั้งของอินเตอร์เฟอโรแกรมที่ผลิตโดยอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ตามพื้นผิวที่ไม่ใช่ระนาบโมดูลสอบเทียบใช้ความจุของแอคชูเอเตอร์ที่ตำแหน่งอ้างอิงเพื่อชดเชยการดริฟฟต์ใด ๆ ในวงจรตรวจจับแบบ Capacitive