Autocalibração para posicionamento de espelho em interferômetros MEMS ópticos

Resumo:

Um aparelho de Sistema Micro-Eletro-Mecânico (MEMS) permite a autocalibração do posicionamento do espelho de um espelho móvel de um interferômetro. Pelo menos um espelho no aparelho MEMS inclui uma superfície não plana. O espelho móvel é acoplado a um atuador MEMS com uma capacitância variável. O aparelho MEMS inclui um circuito de detecção capacitivo para determinar a capacitância do atuador MEMS em várias posições de referência do espelho móvel correspondentes a uma explosão central e uma ou mais rajadas secundárias de um interferograma produzido pelo interferômetro com base na superfície não plana. Um módulo de calibração usa as capacitâncias do atuador nas posições de referência para compensar qualquer desvio no circuito de detecção capacitiva.