Autocalibración para el posicionamiento del espejo en interferómetros MEMS ópticos

Resumen:

Un aparato de sistema microelectromecánico (MEMS) permite la autocalibración del posicionamiento del espejo de un espejo móvil de un interferómetro. Al menos un espejo del aparato MEMS incluye una superficie no plana. El espejo móvil está acoplado a un actuador MEMS que tiene una capacitancia variable. El aparato MEMS incluye un circuito de detección capacitiva para determinar la capacitancia del actuador MEMS en múltiples posiciones de referencia del espejo móvil correspondientes a una ráfaga central y a una o más ráfagas secundarias de un interferograma producidas por el interferómetro basándose en la superficie no plana. Un módulo de calibración utiliza las capacitancias del actuador en las posiciones de referencia para compensar cualquier desviación en el circuito de detección capacitiva.