Dispositif MEMS à auto-alignement

Résumé :

La présente invention concerne de manière générale la spectroscopie optique et l'interférométrie optique, et plus particulièrement l'utilisation de la technologie des microsystèmes électromécaniques (MEMS) dans des interféromètres optiques. Un microsystème électromécanique (MEMS) fait référence à un dispositif dans lequel des éléments mécaniques, des capteurs, des actionneurs et des composants électroniques sont intégrés sur un substrat de silicium commun par une technologie de microtraitement. Par exemple, la microélectronique est généralement fabriquée à l'aide d'un procédé de circuit intégré (CI), tandis qu'un procédé de microfabrication compatible est utilisé pour graver sélectivement des parties d'une tranche de silicium ou créer de nouvelles structures. Des couches sont ajoutées pour former des composants mécaniques et électromécaniques afin de créer des composants micromécaniques. Les dispositifs MEMS peuvent être traités par lots à faible coût et sont compatibles avec les dispositifs microélectroniques standard, notamment la spectroscopie, la mesure de forme, la détection environnementale, la mesure de l'indice de réfraction (ou reconnaissance des matériaux) et diverses autres applications de capteurs. De plus, étant donné que le dispositif MEMS est de petite taille, il peut être facilement intégré dans un dispositif portable ou un dispositif portatif.