อุปกรณ์ MEMS จัดตำแหน่งด้วยตนเอง

บทคัดย่อ:

การประดิษฐ์นี้โดยทั่วไปเกี่ยวข้องกับออปติคัลสเปกโตรสโกปีและออปติคัลอินเตอร์เฟอโรเมตริและโดยเฉพาะอย่างยิ่งกับการใช้เทคโนโลยีระบบไฟฟ้ากลขนาดเล็ก (MEMS) ในออปติคัลอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ ระบบกลไกไฟฟ้าขนาดเล็ก (MEMS) หมายถึงอุปกรณ์ที่องค์ประกอบเชิงกลเซ็นเซอร์แอคทูเอเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์ถูกรวมเข้ากับสารตั้งต้นซิลิคอนทั่วไปโดยเทคโนโลยีการประมวลผลไมโครตัวอย่างเช่น ไมโครอิเล็กทรอนิกส์มักถูกประดิษฐ์โดยใช้กระบวนการวงจรรวม (IC) ในขณะที่กระบวนการผลิตไมโครแฟกชันที่เข้ากันได้จะใช้เพื่อคัดแยกส่วนของเวเฟอร์ซิลิคอนออกหรือสร้างโครงสร้างใหม่มีการเพิ่มเลเยอร์เพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลและเครื่องกลไฟฟ้าเพื่อสร้างส่วนประกอบกลขนาดเล็กอุปกรณ์ MEMS สามารถประมวลผลเป็นชุดได้ด้วยต้นทุนต่ำและเข้ากันได้กับอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์มาตรฐานเช่นสเปกโตรสโคปีการวัดรูปร่างการตรวจจับสิ่งแวดล้อมการวัดดัชนีหักเหของแสง (หรือการจดจำวัสดุ) และการใช้งานเซ็นเซอร์อื่น ๆนอกจากนี้เนื่องจากอุปกรณ์ MEMS มีขนาดเล็กจึงสามารถรวมเข้ากับอุปกรณ์พกพาหรืออุปกรณ์มือถือได้อย่างง่ายดาย