Dispositivo MEMS de autoalinhamento

Resumo:

A presente invenção se refere geralmente à espectroscopia óptica e interferometria óptica e, mais particularmente, ao uso da tecnologia de sistema microeletromecânico (MEMS) em interferômetros ópticos. Um sistema micro eletromecânico (MEMS) se refere a um dispositivo no qual elementos mecânicos, sensores, atuadores e eletrônicos são integrados em um substrato de silício comum pela tecnologia de microprocessamento. Por exemplo, a microeletrônica é normalmente fabricada usando um processo de circuito integrado (IC), enquanto um processo de microfabricação compatível é usado para gravar seletivamente porções de uma pastilha de silício ou criar novas estruturas. As camadas são adicionadas para formar componentes mecânicos e eletromecânicos para criar componentes micromecânicos. Os dispositivos MEMS podem ser processados em lote a baixo custo e são compatíveis com dispositivos microeletrônicos padrão, como espectroscopia, medição de forma, detecção ambiental, medição de índice de refração (ou reconhecimento de material) e várias outras aplicações de sensores. Além disso, como o dispositivo MEMS é pequeno, ele pode ser facilmente integrado a um dispositivo portátil ou portátil.