Interféromètre à microsystème électromécanique (MEMS)

Résumé :

La présente invention concerne de manière générale la spectroscopie et l'interférométrie, et plus particulièrement l'utilisation de microsystèmes électromécaniques (MEMS) dans des spectromètres optiques. Le système microélectromécanique (MEMS) fait référence à l'intégration d'éléments mécaniques, de capteurs, d'actionneurs et de composants électroniques fournis sur un substrat de silicium commun, généralement par des techniques de microfabrication. Par exemple, la microélectronique est généralement fabriquée à l'aide de procédés de circuits intégrés (CI), et les composants micromécaniques sont ajoutés mécaniquement et mécaniquement en gravant sélectivement des parties d'une tranche de silicium et en ajoutant de nouvelles couches structurales. Fabriqué à l'aide d'un procédé de microfabrication qui permet de former des composants électromécaniques. Les dispositifs MEMS offrent la spectroscopie, la profilométrie (mesure de forme), la détection environnementale, la mesure de l'indice de réfraction (reconnaissance des matériaux) et d'autres capteurs en raison de leur faible coût, de leur capacité de traitement par lots et de leur compatibilité avec la microélectronique standard. Un candidat intéressant pour une utilisation sur le terrain. En outre, étant donné que les dispositifs MEMS sont de petite taille, ils peuvent être facilement intégrés dans des appareils mobiles (mobiles) et des appareils portables.