Interferômetro de sistema microeletromecânico (MEMS)

Resumo:

Esta invenção se refere geralmente à espectroscopia e interferometria e, mais particularmente, ao uso de sistemas microeletromecânicos (MEMS) em espectrômetros ópticos. O sistema microeletromecânico (MEMS) se refere à integração de elementos mecânicos, sensores, atuadores e eletrônicos fornecidos em um substrato de silício comum, normalmente por técnicas de microfabricação. Por exemplo, a microeletrônica é normalmente fabricada usando processos de circuito integrado (IC) e os componentes micromecânicos são adicionados mecânica e mecanicamente por meio da gravação seletiva de porções de uma pastilha de silício e da adição de novas camadas estruturais. Fabricado usando um processo de microfabricação que forma componentes eletromecânicos. Os dispositivos MEMS oferecem espectroscopia, perfilometria (medição de forma), detecção ambiental, medição do índice de refração (reconhecimento de material) e outros sensores devido ao seu baixo custo, processabilidade em lote e compatibilidade com a microeletrônica padrão. Um candidato atraente para uso no campo. Além disso, como os dispositivos MEMS são pequenos, eles podem ser facilmente integrados em dispositivos móveis (móveis) e dispositivos portáteis.