微机电系统 (MEMS) 干涉仪

摘要：

本发明一般涉及光谱学和干涉测量，更具体地说，涉及在光学光谱仪中使用微机电系统（MEMS）。 微机电系统 (MEMS) 是指将机械元件、传感器、执行器和电子元件集成在通用硅衬底上，通常采用微加工技术。例如，微电子通常使用集成电路（IC）工艺制造，通过选择性地蚀刻硅晶圆的部分并添加新的结构层，以机械和机械方式添加微机械组件。使用微加工工艺制造，形成机电组件。由于其低成本、批处理性以及与标准微电子的兼容性，MEMS 设备提供光谱学、轮廓测量（形状测量）、环境传感、折射率测量（材料识别）和其他传感器。是该领域使用的有吸引力的候选者。此外，由于微机电系统设备体积小，它们可以轻松集成到移动（移动）设备和手持设备中。