ระบบไฟฟ้ากลขนาดเล็ก (MEMS) อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์

บทคัดย่อ:

การประดิษฐ์นี้โดยทั่วไปเกี่ยวข้องกับสเปกโตรสโกปีและอินเตอร์เฟอโรเมตรี และโดยเฉพาะอย่างยิ่งกับการใช้ระบบไฟฟ้ากลไกขนาดเล็ก (MEMS) ในออปติคัลสเปกโตรมิเตอร์ ระบบเครื่องกลขนาดเล็กไฟฟ้า (MEMS) หมายถึงการรวมองค์ประกอบทางกล เซ็นเซอร์ แอคชูเอเตอร์ และอิเล็กทรอนิกส์ที่มีอยู่บนพื้นผิวซิลิคอนทั่วไป โดยทั่วไปแล้วโดยเทคนิคการผลิตไมโครโฟบริเคชั่นตัวอย่างเช่น ไมโครอิเล็กทรอนิกส์มักผลิตโดยใช้กระบวนการวงจรรวม (IC) และส่วนประกอบไมโครกลจะถูกเพิ่มด้วยกลไกและเชิงกลโดยการแกะสลักส่วนของเวเฟอร์ซิลิคอนออกอย่างเลือกและเพิ่มชั้นโครงสร้างใหม่ผลิตโดยใช้กระบวนการผลิตไมโครที่ก่อตัวเป็นส่วนประกอบทางกลไฟฟ้าอุปกรณ์ MEMS มีสเปกโตรสโคปี โปรไฟล์เมตริก (การวัดรูปร่าง) การตรวจจับสิ่งแวดล้อมการวัดดัชนีหักเหของแสง (การจดจำวัสดุ) และเซ็นเซอร์อื่น ๆ เนื่องจากต้นทุนต่ำ ความสามารถในการประมวลผลแบบแบทช์ และความเข้ากันได้กับไมโครอิเล็กทรอนิกส์มาตรฐานผู้สมัครที่น่าสนใจสำหรับการใช้งานในสนามนอกจากนี้เนื่องจากอุปกรณ์ MEMS มีขนาดเล็กจึงสามารถรวมเข้ากับอุปกรณ์มือถือ (มือถือ) และอุปกรณ์มือถือได้อย่างง่ายดาย