Interferómetro de sistema microelectromecánico (MEMS)

Resumen:

Esta invención se refiere en general a la espectroscopia y la interferometría, y más particularmente al uso de sistemas microelectromecánicos (MEMS) en espectrómetros ópticos. El sistema microelectromecánico (MEMS) se refiere a la integración de elementos mecánicos, sensores, actuadores y componentes electrónicos proporcionados sobre un sustrato de silicio común, generalmente mediante técnicas de microfabricación. Por ejemplo, la microelectrónica se fabrica normalmente mediante procesos de circuitos integrados (CI), y los componentes micromecánicos se añaden mecánica y mecánicamente mediante el grabado selectivo de partes de una oblea de silicio y la adición de nuevas capas estructurales. Se fabrican mediante un proceso de microfabricación que forma componentes electromecánicos. Los dispositivos MEMS ofrecen sensores de espectroscopía, perfilometría (medición de forma), detección ambiental, medición del índice de refracción (reconocimiento de materiales) y otros sensores debido a su bajo costo, capacidad de procesamiento por lotes y compatibilidad con la microelectrónica estándar. Un candidato atractivo para su uso en el campo. Además, debido a que los dispositivos MEMS son de tamaño pequeño, se pueden integrar fácilmente en dispositivos móviles (móviles) y dispositivos portátiles.