Banc micro-optique à surfaces optiques hautement contrôlées

Résumé :

Les systèmes microélectromécaniques (MEMS) font référence à l'intégration d'éléments mécaniques, de capteurs, d'actionneurs et d'électrons sur un substrat de silicium commun par la technologie de microfabrication. Par exemple, la microélectronique est généralement fabriquée à l'aide de procédés de circuits intégrés (CI), tandis que les composants micromécaniques sont gravés de manière sélective à partir de parties de tranches de silicium ou interconnectés pour ajouter de nouvelles couches structurelles. Fabriqué à l'aide de certains procédés de microfabrication pour former des composants mécaniques et électromécaniques. En raison de leur faible coût, de leur capacité de traitement par lots et de leur compatibilité avec la microélectronique standard, les dispositifs MEMS fournissent la spectroscopie, la profilométrie, la détection environnementale, la réfractométrie (ou perception de texture) et bien d'autres. C'est un candidat intéressant pour une utilisation dans les applications de capteurs. De plus, la petite taille des dispositifs MEMS facilite l'intégration de tels dispositifs MEMS dans des dispositifs mobiles et portables.