อุปกรณ์ม้านั่งไมโครออปติคอลที่มีพื้นผิวออปติคัลควบคุมสูง

บทคัดย่อ:

ระบบไมโครอิเล็กโทรเมกานิล (MEMS) หมายถึงการรวมองค์ประกอบทางกล เซ็นเซอร์ แอคชูเอเตอร์ และอิเล็กตรอนบนพื้นผิวซิลิคอนทั่วไปโดยเทคโนโลยีไมโครฟาบริเคชั่นตัวอย่างเช่น ไมโครอิเล็กทรอนิกส์มักผลิตโดยใช้กระบวนการวงจรรวม (IC) ในขณะที่ส่วนประกอบเชิงกลขนาดเล็กจะถูกคัดแยกออกจากส่วนของเวเฟอร์ซิลิคอนหรือเชื่อมต่อกันเพื่อเพิ่มชั้นโครงสร้างใหม่ผลิตโดยใช้กระบวนการผลิตไมโครบางอย่างเพื่อสร้างส่วนประกอบเชิงกลและเครื่องกลไฟฟ้าเนื่องจากต้นทุนต่ำความสามารถในการประมวลผลแบบแบทช์และความเข้ากันได้กับไมโครอิเล็กทรอนิกส์มาตรฐานอุปกรณ์ MEMS จึงมีสเปกโตรสโกปีโปรไฟล์เมตรการตรวจจับสิ่งแวดล้อมการหักเหตุ (หรือการรับรู้พื้นผิว) และอื่น ๆ เป็นตัวเลือกที่น่าสนใจสำหรับการใช้งานเซ็นเซอร์นอกจากนี้อุปกรณ์ MEMS ขนาดเล็กยังอำนวยความสะดวกในการรวมอุปกรณ์ MEMS ดังกล่าวเข้ากับอุปกรณ์มือถือและอุปกรณ์มือถือ