Dispositivo de mesa microóptico con superficies ópticas altamente controladas

Resumen:

Los sistemas microelectromecánicos (MEMS) se refieren a la integración de elementos mecánicos, sensores, actuadores y electrones en un sustrato de silicio común mediante la tecnología de microfabricación. Por ejemplo, la microelectrónica se fabrica normalmente mediante procesos de circuitos integrados (CI), mientras que los componentes micromecánicos se separan de partes de las obleas de silicio de forma selectiva o se interconectan para añadir nuevas capas estructurales. Se fabrican mediante ciertos procesos de microfabricación para formar componentes mecánicos y electromecánicos. Debido a su bajo costo, capacidad de procesamiento por lotes y compatibilidad con la microelectrónica estándar, los dispositivos MEMS proporcionan espectroscopía, perfilometría, detección ambiental, refractometría (o percepción de textura) y algunas otras. Son un candidato atractivo para su uso en aplicaciones de sensores. Además, el pequeño tamaño de los dispositivos MEMS facilita la incorporación de dichos dispositivos MEMS en dispositivos móviles y portátiles.