Dispositivo de bancada microóptico com superfícies ópticas altamente controladas

Resumo:

Sistemas microeletromecânicos (MEMS) se referem à integração de elementos mecânicos, sensores, atuadores e elétrons em um substrato de silício comum pela tecnologia de microfabricação. Por exemplo, a microeletrônica é normalmente fabricada usando processos de circuito integrado (IC), enquanto os componentes micromecânicos são separados seletivamente de porções de pastilhas de silício ou interconectados para adicionar novas camadas estruturais. Fabricado usando certos processos de microfabricação para formar componentes mecânicos e eletromecânicos. Devido ao seu baixo custo, capacidade de processamento em lote e compatibilidade com a microeletrônica padrão, os dispositivos MEMS fornecem espectroscopia, perfilometria, detecção ambiental, refratometria (ou percepção de textura) e alguns outros. É um candidato atraente para uso em aplicações de sensores. Além disso, o tamanho pequeno dos dispositivos MEMS facilita a incorporação desses dispositivos MEMS em dispositivos móveis e portáteis.