Carte de sonde optique intégrée et système pour tester par lots des structures optiques MEMS avec axe optique dans le plan à l'aide de composants de banc micro-optiques

Résumé :

Certains aspects de la présente divulgation concernent une carte de sonde optique intégrée et un système pour effectuer des tests de plaquettes de structures de systèmes microélectromécaniques optiques (MEMS) ayant des axes optiques dans le plan. Le masquage optique sur tranche de structures MEMS optiques peut être effectué à l'aide d'un ou de plusieurs ensembles de plateformes microoptiques pour rediriger la lumière entre une direction hors plan perpendiculaire à un axe optique intérieur au plan et une direction intérieure parallèle à l'axe optique intérieur du plan afin de permettre le test des structures MEMS optiques par injection verticale de lumière.