Placa de sonda óptica integrada e sistema para teste em lote de estruturas ópticas MEMS com eixo óptico plano usando componentes de bancada micro-óptica

Resumo:

Os aspectos da presente divulgação estão relacionados a uma placa de sonda óptica integrada e um sistema para realizar testes de pastilhas de estruturas de sistemas microeletromecânicos ópticos (MEMS) com eixos ópticos planos. O mascaramento óptico on-wafer de estruturas MEMS ópticas pode ser realizado com um ou mais conjuntos de plataformas microópticas para redirecionar a luz entre uma direção fora do plano perpendicular a um eixo óptico no plano e uma direção no plano paralela ao eixo óptico no plano para permitir o teste das estruturas ópticas de MEMS por injeção vertical de luz.