集成的光学探针卡和系统，用于使用微型光学台架组件对具有面内光轴的光学 MEMS 结构进行批量测试

摘要：

本披露内容涉及集成光学探针卡和系统，用于对具有面内光轴的光学微机电系统（MEMS）结构进行晶圆测试。光学微机电系统结构的晶圆上光学屏蔽可以使用一个或多个微光学平台组件进行，以在垂直于面内光轴的面外方向和平行于面内光轴的面内方向之间重定向光线，从而能够通过垂直注入光来测试光学微机电系统结构。