การ์ดโพรบอปติคอลในตัวและระบบสำหรับการทดสอบแบบชุดของโครงสร้าง MEMS ด้วยแกนออปติคอลในระนาบโดยใช้ส่วนประกอบม้านั่งไมโครออปติคอล

บทคัดย่อ:

แง่มุมของการเปิดเผยข้อมูลในปัจจุบันเกี่ยวข้องกับการ์ดโพรบอปติคัลแบบบูรณาการและระบบสำหรับการทดสอบเวเฟอร์ของโครงสร้างระบบไมโครอิเล็กโทร-กลออปติคอล (MEMS) ที่มีแกนออปติคัลในระนาบการปิดบังออปติคอลบนเวเฟอร์ของโครงสร้าง MEMS แบบออปติคอลอาจดำเนินการกับชุดแพลตฟอร์มไมโครออปติคอลอย่างน้อยหนึ่งชุดเพื่อเปลี่ยนเส้นทางแสงระหว่างทิศทางนอกระนาบตั้งฉากกับแกนออปติคอลในระนาบและทิศทางในระนาบขนานกับแกนออปติคอลเพื่อให้สามารถทดสอบโครงสร้าง MEMS แบบออปติคอลโดยการฉีดแสงในแนวตั้ง