Tarjeta y sistema de sonda óptica integrados para pruebas por lotes de estructuras MEMS ópticas con eje óptico en el plano utilizando componentes de banco microóptico

Resumen:

Los aspectos de la presente descripción se refieren a una tarjeta de sonda óptica integrada y a un sistema para realizar pruebas de obleas de estructuras de sistemas microelectromecánicos ópticos (MEMS) que tienen ejes ópticos en el plano. El enmascaramiento óptico en oblea de las estructuras MEMS ópticas se puede realizar con uno o más conjuntos de plataformas microópticas para redirigir la luz entre una dirección fuera del plano perpendicular a un eje óptico en el plano y una dirección en el plano paralela al eje óptico en el plano para permitir la prueba de las estructuras MEMS ópticas mediante la inyección vertical de luz.