Carte de sonde optique intégrée et système pour tester par lots des structures optiques MEMS avec axe optique dans le plan à l'aide de composants de banc micro-optiques

Résumé :

Certains aspects concernent une carte de sonde optique intégrée et un système pour effectuer des tests de tranches de structures de systèmes microélectromécaniques optiques (MEMS) avec un axe optique dans le plan. Le criblage optique sur tranche de structures MEMS optiques peut être effectué à l'aide d'un ou de plusieurs composants de banc micro-optiques pour rediriger la lumière entre une direction hors plan qui est perpendiculaire à l'axe optique intérieur du plan et une direction intérieure parallèle à l'axe optique intérieur du plan afin de permettre le test des structures MEMS optiques par injection verticale de lumière.