การ์ดโพรบอปติคอลในตัวและระบบสำหรับการทดสอบแบบชุดของโครงสร้าง MEMS ด้วยแกนออปติคอลในระนาบโดยใช้ส่วนประกอบม้านั่งไมโครออปติคอล

บทคัดย่อ:

แง่มุมเกี่ยวข้องกับการ์ดโพรบอปติคัลแบบบูรณาการและระบบสำหรับการทดสอบเวเฟอร์ของโครงสร้างระบบไมโครอิเล็กโทร-กลออปติคอล (MEMS) ที่มีแกนออปติคัลในระนาบการคัดกรองด้วยแสงบนเวเฟอร์ของโครงสร้าง MEMS แบบออปติคัลอาจดำเนินการโดยใช้ส่วนประกอบม้านั่งไมโครออปติคอลอย่างน้อยหนึ่งชิ้นเพื่อเปลี่ยนเส้นทางแสงระหว่างทิศทางนอกระนาบที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลในระนาบไปยังทิศทางในระนาบที่ขนานกับแกนออปติคอลเพื่อให้สามารถทดสอบโครงสร้าง MEMS แบบออปติคอลด้วยการฉีดแสงในแนวตั้ง